集成電路芯片烘箱 老化試驗箱

一、集成電路芯片烘箱工作原理：

將物料放入烤箱內，通過加熱元件將烤箱內的溫度提高，使物料中的水分蒸發，從而達到加熱的目的。

二、集成電路芯片烘箱溫控系統：

1.溫度范圍：RT+10℃～200℃、RT+10℃～300℃、RT+10℃～400℃

2.溫度范圍：RT+10℃～300℃

3.溫控表精度：±0.01℃

4.溫控表波動度：±0.5℃

5.溫度均勻度：±2℃

6.升溫速率：RT～100℃（約10分鐘左右）

7.定時器設定：1秒－9999時（可選擇設定小時、分鐘、秒）溫到計時，時間至切斷加熱電流；8.感溫線（K）型；

9.加熱控制為：固態繼電器SSR無接點，保持電流的高穩定性；

10.加熱元件為：不銹鋼耐高溫加熱管，無污染且使用壽命長；

11.溫控儀表為PID數顯儀表（中國臺灣臺松儀表），單點式控溫，可自動演算，PV/SV同時顯示，按鍵設定。

三、送風系統：

1.強制對流送風循環，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后熱風吸入風道成為源再度循環加熱，由此減小能量損耗并保證箱內的溫度均勻性，當門開、關動作 引起擾動時，可借此送風循環系統迅速回復操作狀態溫度值。

2.馬達為中國臺灣進口長軸耐高溫型，功率為1HP 50Hz

3.風扇為多葉式渦輪型、強度高，內裝有可調式導流風板，使風路運行更加順暢流通。

四、充氮氣裝置

1、調壓閥：控制氮氣壓力，正常使用下氮氣壓力調為2.5公斤左右；

2、面板流量計：控制氮氣進入箱內的大小，量程為10L/min-60Lmin；

3、氮氣管道進入到箱內正后面，調壓閥處預留8mm快插氣管接口；

4、注：氮氣由用戶自備。